(1).jpg)
拉晶過程全程自動化
在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，
用直拉法生長無位錯單晶的設(shè)備。
性能優(yōu)勢
設(shè)備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提高了整機穩(wěn)定性。
具有拉制12英寸COP FREE半導體單晶硅棒的功能。
采用新型隔離閥。
液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。
高精度傳動機構(gòu)。
雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。
| 12英寸半導體級單晶爐 | |||
| 型號 | FT-CZ1400Se | ||
| 場所 | 周圍溫度 | 15 ~ 30℃ | |
| 周圍濕度 | ≤65%（無結(jié)露，腐蝕氣體） | ||
| 潔凈度 | 5000級凈空房 | ||
| 噪音 | ≤75db | ||
| 地基 | 3000kg/㎡以上 | ||
| 電源 | 額定電壓 | 380VAC±10%, 3P, 50/60Hz | |
| 額定電容 | 420kVA | ||
| 額定流量 | 650A | ||
| 冷卻水 | 流量范圍 | 400 ~ 500L/min | |
| 供給壓力 | 0.3 ~ 0.5MPa | ||
| 重量 | 設(shè)備高度 | ＜10600mm △ | |
| 設(shè)備重量 | 約26T | ||
△ 項數(shù)據(jù)視上爐筒高度而定，本設(shè)備數(shù)據(jù)不含磁場。
微端咨詢
在線留言
-
關(guān)于我們
-
產(chǎn)品與服務(wù)
-
應(yīng)用領(lǐng)域
-
媒體中心
-
聯(lián)系我們
Copyright © 上海漢虹精密機械有限公司 滬ICP備12008363號-1
在線咨詢
感謝您的關(guān)注，漢虹專屬技術(shù)顧問將為您提供服務(wù)
提交
取消
微端咨詢
掃描二維碼，漢虹專屬技術(shù)顧問將為您提供服務(wù)
取消
掃描二維碼，關(guān)注抖音漢虹官方公眾號
取消